一、儀器用途 117型測量顯微鏡是一種小型二維數顯測量的計量儀器，儀器主要采用透、反射照明方式，通過觀察和數顯系統對精密件的幾何量（長度、角度）進行觀察、分析、測量。特別適用于大規模集成電路線寬、小型零件（如鐘表零件）及其他精密件幾何參數的測量。儀器可以連接CCD進行影像測量。儀器體積小、重量輕、可廣泛應用于計量室、生產作業線以及科學研究部門。 二、儀器規格 （一）測量范圍 X:150mm;Y:100mm （二）工作臺尺寸： 355×240mm (玻璃臺面尺寸：210×175mm) （三）數顯分辨率： 0.0005mm （四）儀器的回程誤差： 0.002mm （五）儀器測量準確度： ≤（3+L/25）um（L為被測長度） （六）儀器的質量： 32.5kg （七）儀器外形尺寸： 420×550×600mm （八）輸入電壓： AC220/50Hz±10%（工作照明電壓5V/LED） （九）光學基本參數 物鏡 目鏡 總放大倍數 工作距離 (mm) 視場直徑 (mm) 放大倍數 數值孔徑 焦距(mm) 放大倍數 焦距 (mm) 4×/0.1 28.8 10× 25 40× 17.50 3.40 10×/0.25 15.4 100× 11.60 1.40 40×0.65 4.4 400× 0.66 0.35 （十）照明光源 1.反射照明： 5V， 3W （LED） 2.透射照明： 5V， 3W （LED） 3.斜射照明： 12V，50W （雙鹵鎢燈）（選購件） （十一）CCD接口 采用標準C接口、可連接CCD和數碼相機進行影像測量。